台灣半導體研究中心為提供更優質服務，進行新舊電子束直寫系統汰換。為配合新、舊設備整建時程，CF-L02W Leica e-beam電子束直寫系統將於114年2月24日停止服務，進行設備下架；新設備預計於114年8月25日進行試運轉服務。